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台积电豪置18台光刻机,7nm 制程EUV 量产正式提上日程

时间:2019/2/13 11:56:39  作者:www.idcicp.com  来源:网摘  查看:155  评论:0
内容摘要:互联先锋(www.idcicp.com)2019年2月13日讯,2月12日消息,ASML(荷兰阿斯麦)将EUV光刻机的年出货量从18台提升到今年的预计30台,台积电重金包揽了其中的18台,加上之前采购的几台,台积电有望在今年3月份启动7nm EUV的量产。 据了解,在EUV独家生...

互联先锋(www.idcicp.com)2019213日讯,2月12日消息,ASML(荷兰阿斯麦)将EUV光刻机的年出货量从18台提升到今年的预计30台,台积电重金包揽了其中的18台,加上之前采购的几台,台积电有望在今年3月份启动7nm EUV的量产。

 

据了解,在EUV独家生产商ASML被预定的30台设备中,台积电重金订购了18台,其余12台订单客户则是英特尔、三星等DRAM客户,中芯也在2018年下单1台。ASML现款EUV光刻机Twinscan NXE: 3400B报价约1.2亿美元(约合8亿人民币),预估台积电订购的这18台EUV光刻机总价接近150亿元。

 

此外,台积电还计划在今年第二季度启动5nm工艺的风险试产。


标签:台积电 7nm 光刻机 

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