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互联先锋（www.idcicp.com）2019年2月13日讯，2月12日消息，ASML(荷兰阿斯麦)将EUV光刻机的年出货量从18台提升到今年的预计30台，台积电重金包揽了其中的18台，加上之前采购的几台，台积电有望在今年3月份启动7nm EUV的量产。
据了解，在EUV独家生产商ASML被预定的30台设备中，台积电重金订购了18台，其余12台订单客户则是英特尔、三星等DRAM客户，中芯也在2018年下单1台。ASML现款EUV光刻机Twinscan NXE: 3400B报价约1.2亿美元(约合8亿人民币)，预估台积电订购的这18台EUV光刻机总价接近150亿元。
此外，台积电还计划在今年第二季度启动5nm工艺的风险试产。
